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所檢缺陷種類：孔洞、尺寸、位置；穿孔；顆粒污染；凹坑；水印；劃傷；淺坑；CMP凸起 
檢測范圍：8寸、12寸 
圖像分辨率：1.725um/像素 
缺陷識別率：99% 
檢測視野大小：4.5mm x 3.5mm 
最小可檢孔洞缺陷大小：20um 
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